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    微電子技術推動傳感器技術的發展

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    微電子技術推動傳感器技術的發展

    分類:
    新聞中心
    作者:
    發布時間:
    2017/12/15

      幾十年來,微電子技術促進了傳感器技術的發展。因此,全行業必須樹立創新意識,大力加強新型傳感器的開發,提高產品的性價比,加快科研成果的轉化,加快新型傳感器的產業化,迅速提高國產傳感器的市場占有率。

      目前,我國傳感器行業規模較小,應用范圍較窄。為此,我們亟須轉變觀念,將傳感器的研發由單一物性型傳感器的研發,轉化為高度集成的新型傳感器研發。新型傳感器的開發和應用已成為現代系統的核心和關鍵,它將成為21世紀信息產業新的經濟增長點。品種規格已有近6000種

      我國早在 20世紀60年代就開始涉足傳感器制造業。我國在1972年組建成立中國第一批壓阻傳感器研制生產單位;1974年,研制成功中國第一個實用壓阻式壓力傳感器;1978年,誕生中國第一個固態壓阻加速度傳感器;1982年,國內最早開始硅微機械系統(MEMS)加工技術和SOI(絕緣體上硅)技術的研究。

      進入20世紀90年代后,硅微機械加工技術的絕對壓力傳感器、微壓傳感器、呼吸機壓傳感器、多晶硅壓力傳感器、低成本TO-8封裝壓力傳感器等相繼問世并實現生產。

      改革開放30年來,我國傳感器技術及其產業取得了長足進步,主要表現在:建立了傳感技術國家重點實驗室、微米/納米國家重點實驗室、國家傳感技術工程中心等研究開發基地;MEMS、MOEMS(微光機電系統)等研究項目列入了國家高新技術發展重點;在“九五”國家重點科技攻關項目中,傳感器技術研究取得了51個品種86個規格新產品的成績,初步建立了敏感元件與傳感器產業;2007年傳感器業總產量達到20.93億只,品種規格已有近6000種,并已在國民經濟各部門和國防建設中得到一定應用。

      我國在20世紀80年代末就將傳感器列入國家高新技術發展的重點,經過“八五”、“九五”和“十五”的攻關和產業化建設,目前全國已有2000多家企事業單位從事傳感器的研制、生產和應用。由于經濟發展水平和生產研發資金的限制,我國傳感器行業總體技術水平還是相對比較落后的,規模和應用領域都較小。今天活躍在國際市場上的仍然是德國、日本、美國、俄國等老牌工業國家的企業。在這些國家里,傳感器的應用范圍很廣,許多廠家的生產都實現了規模化,有些企業的年生產能力達到幾千萬只甚至幾億只。相比之下,中國傳感器的應用范圍較窄,更多的應用仍然停留在工業測量與控制等基礎應用領域。

      微電子推動傳感器發展

      幾十年來,微電子技術促進了傳感器技術的發展。未來10年~20年,傳統硅技術將進入成熟期(預計在2014年~2017年)。從總體發展看,傳統硅技術市場將一直延續到2047年(即晶體管發明100周年)才趨于飽和(即達到芯片特征尺寸的極限)并衰退。而當前微電子技術仍將依循“等縮比原理”和“摩爾定律”兩條基礎定律走下去,在逼近傳統硅技術極限中,不斷擴展硅的跨學科橫向應用(如MEMS等)和更先進應用(量子、分子器件)。而上述微電子技術的兩大發展方向正是當前乃至未來20年傳感器技術的主要發展方向。

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